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二次离子质谱（secondary ion mass spectroscopy），是一种非常灵敏的表面成分精密分析仪器，它是通过高能量的一次离子束轰击样品表面，使样品表面的分子吸收能量而从表面发生溅射产生二次离子,通过质量分析器收集、分析这些二次离子，就可以得到关于样品表面信息的图谱。
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二次离子质谱（secondary ion mass spectroscopy），是一种非常灵敏的表面成分精密分析仪器，它是通过高能量的一次离子束轰击样品表面，使样品表面的分子吸收能量而从表面发生溅射产生二次离子,通过质量分析器收集、分析这些二次离子，就可以得到关于样品表面信息的图谱。
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